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EB系列射頻探針臺

簡要描述:EB系列射頻探針臺高達一太赫茲1THz,直接將射頻針頭的導(dǎo)波管與倍頻器的導(dǎo)波管對接,因為省掉額外的導(dǎo)波管使得信號損失降低到小,各家廠牌的倍頻器都可以架設(shè)。

  • 產(chǎn)品型號:EB-6V mmW/EB-6A mmW
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2021-11-17
  • 訪  問  量:1331

詳細介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,航天

EB系列射頻探針臺


奕葉射頻探針臺-1.png


一、EB系列射頻探針臺顯微鏡操控規(guī)格



l 在探針臺右側(cè)有大搖桿,提起90度后,可以使顯微鏡快速傾仰抬起,方便在測試時更換物鏡鏡頭

l 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動,移動范圍2"X2",精度1μm

l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細旋鈕方便調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度1μm



二、臺面規(guī)格


l 探針臺臺面平整度:5μm

l 探針臺左側(cè)有搖杠可以控制臺面快速上下升降6mm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的重選擇

l 探針臺右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿,搖動時可使臺面線性上下升降,升降范圍25mm,精度1μm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的復(fù)位



三、卡盤(載物臺,即圖中的chuck)規(guī)格


l 6" 卡盤,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑250μm-1mm(可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。?,小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,能夠吸住尺寸為6"X6"

l 卡盤可360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕

l 卡盤X,Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動,移動范圍為6"X6",移動精度為1μm,為方便點測的穩(wěn)定性,帶有鎖住功能。如果點測       6"wafer的時候,可以6"wafer的每一點都能夠點測到


四、性能



l 鍍金真空吸附卡盤: 對應(yīng)可選4" ,6",8",12"產(chǎn)品

l 大旋鈕移動卡盤臺,X-Y方向行程:6"-6"

l 卡盤快速拉出裝置便于放置/拿去樣品

l 線性無回差調(diào)節(jié)

l 臺面快速升/降行程:6mm,精調(diào)升/降行程:25mm

l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盤平整度: 10um

l 卡盤旋轉(zhuǎn)角度:0~360°

l Chuck Theta: ±15

l 大旋鈕滑臺X-Y方向精度: 1um

l 臺面上/下升降搖桿/旋鈕

l 顯微鏡傾仰裝置


五、附件


l 顯微鏡傾仰裝置

l 鍍金卡盤

l 射頻測試探頭/電纜

l 有源探頭

l 低電流/電容測試

l 高壓測試

l 激光修復(fù)

l CCD/數(shù)字相機,USB接口

l 探針卡/封裝/PCB板夾具

l 加熱裝置

l 防震桌

l 屏蔽箱




評估射頻mmW探針臺注意事項:

1.防震桌

來自于地的振動噪聲干擾,當探針站在電極上,防止針在電極上刮來刮去影響到彼此的接觸。 信號進出頻率愈高愈是在意。 客戶端經(jīng)常出現(xiàn)的問題,這個實驗室以及整棟建筑物在結(jié)構(gòu)設(shè)計上就比較脆弱,很容易產(chǎn)生共振,當微小的震動來的時候,隨著樓層越高,震動到實驗室的現(xiàn)場位置被放大了更大。 奕葉都會派工程師到現(xiàn)場量震動,機器進場前選擇適當?shù)牡攸c安裝!

2.探針臺

穏定的臺體,硬件機械架構(gòu)的強度與其重心配置。 其次為載臺的XY、Z滑臺及顯微鏡XY功能、精度、穩(wěn)定性及操控性都至關(guān)重要。

3.探針座

有別于直流量測的探針座,高頻量測時探針座本身的重心配置的穩(wěn)定性要高之外,控制探針的機械調(diào)整精度必需1 micron 以上,下針后滑行距離可細膩調(diào)整到不同應(yīng)用及材料所需的接觸應(yīng)力。 頻率愈高,間距愈窄,控制探針的每一步的步進量也需愈小。 頻率在90GHz以上的架設(shè),在探針座本身的穩(wěn)定及精度之外,要將探針座背另外一個倍頻器一起規(guī)劃,出現(xiàn)了其他的挑戰(zhàn),如何將大尺寸的倍頻器收納及超小倍頻器在瞬間產(chǎn)生的熱能的消散問題,設(shè)計上是一大考驗。

4.探針

探針是元件與儀器信號之間的直接硬件接口,廠牌的選用也會影響到量測結(jié)果的可靠及重復(fù)性,校正數(shù)據(jù)庫宏,可提供可靠之外,較深及較廣的后續(xù)量測咨詢。




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