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簡(jiǎn)要描述:加熱卡盤:如果實(shí)驗(yàn)樣品需要在不同溫度下進(jìn)行分析測(cè)量,這時(shí)就可能需要熱吸盤(Hot Chuck)或者低溫(Cryogenic)系統(tǒng),在較高溫度或低溫下還可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。
產(chǎn)品分類
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品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,電氣 |
如果實(shí)驗(yàn)樣品需要在不同溫度下進(jìn)行分析測(cè)量,這時(shí)就可能需要熱吸盤(Hot Chuck)或者低溫(Cryogenic)系統(tǒng),
在較高溫度或低溫下還可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。
熱吸盤(Hot Chuck)
1.采用低噪聲直流驅(qū)動(dòng)
2.絕緣套件用于低電流(pA)測(cè)試
3. 配備水冷裝置,快速將加熱卡盤降至室溫
4. 大多數(shù)探針臺(tái)可安裝
5. 不需特殊連接適配器即可安裝
6. 卡盤材質(zhì)為不銹鋼,以獲取均溫性,避免重金屬沾污
7. 配備溫度控制器,可選多種加溫曲線
8. 設(shè)計(jì)有冷卻隔絕裝置,熱吸盤溫度不會(huì)通過金屬傳導(dǎo)而引起探針臺(tái)整體精度下降
加熱卡盤規(guī)格:
卡盤尺寸 | 3", 4'', 6'', 8'', 12" dia. x 1'' Thick |
卡盤平坦度 | +/-10μm |
溫度范圍 | RT-200?C |
溫度分辨率 | 0.1?C |
溫度度 | 100?C,±0.5?C; 200?C,±1?C; 300?C,±2?C; 400?C,±3?C |
從25?C加熱到 | 100?C, 150?C, 200?C |
4英寸卡盤所需時(shí)間 2:00 、 3:30 、5:00 | |
加熱驅(qū)動(dòng)方式 | 直流 |
材料 | 不銹鋼 |
電源 | 110 VAC, 60Hz |
加熱功率 | 4'' 700W ; 6'' 1000W ; 8'' 1500 W |
真空泵 | -250 mmHg, 7 liter/min |
水流量 | 20 升/分鐘 |
溫度控制器 | |
附件與升級(jí):
溫度高可達(dá) 300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃, 800 ℃
溫度低可達(dá) 5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫77 °K
連接適配器,用于與其他品牌探針臺(tái)的裝配
方形卡盤,根據(jù)要求定制
更高精度、高均勻性、快速升溫等,根據(jù)要求定制
水冷卻槽
絕緣套件,用于低電流測(cè)試
液晶套件
真空罐
C-V測(cè)量附件
測(cè)量?jī)x器與帶腳輪的儀器機(jī)柜
真空圈,客戶訂制
鍍金卡盤
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