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奕葉探針臺(tái)EB系列

簡(jiǎn)要描述:中國(guó)臺(tái)灣奕葉EB系列探針臺(tái)同軸旋鈕,可單手同時(shí)操作卡盤(pán)XY軸移動(dòng),樣品可快速移動(dòng)到給定位置進(jìn)行量測(cè)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):EB-8
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2022-03-01
  • 訪  問(wèn)  量:1330

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
自動(dòng)化度全自動(dòng)產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子,交通

奕葉探針臺(tái)EB系列


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一、顯微鏡操控規(guī)格


l 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍2"X2",精度1μm。

l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動(dòng)精度10μm。


二、臺(tái)面規(guī)格


l 探針臺(tái)臺(tái)面平整度:5μm。

l 探針臺(tái)臺(tái)面為固定臺(tái)面。


三、卡盤(pán)(載物臺(tái),即圖中的chuck)規(guī)格


l 6" 卡盤(pán),卡盤(pán)平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑 250μm-1mm(可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。?,小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,能夠吸住尺寸為6"X6"。

l 卡盤(pán)可360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕。

l 卡盤(pán)座有小搖桿,提起90度后,可以使卡盤(pán)快速線性上升4mm,在做wafer點(diǎn)測(cè)時(shí)方便快速移動(dòng)點(diǎn)測(cè)位置,同時(shí)做普通die或者decap后芯片點(diǎn)測(cè)時(shí),方便快速更換樣品。

l 卡盤(pán)X,Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤(pán)做X-Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍為6"X6",移動(dòng)精度為10μm,為方便點(diǎn)測(cè)的穩(wěn)定性,帶有鎖住功能如果點(diǎn)測(cè)6"wafer的時(shí)候,可以6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測(cè)到。


四、性能


l 真空吸附卡盤(pán):對(duì)應(yīng)可選4" ,6",8",12"產(chǎn)品

l 卡盤(pán)X-Y方向線性移動(dòng)行程:6"-6"

l 線性無(wú)回差調(diào)節(jié)

l 卡盤(pán)上/下移動(dòng)行程:4mm

l 4", 6", 8", 12" 晶圓 (晶圓尺寸)

l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盤(pán)平整度: 10um

l 卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)角度:0~360°


五、附件


l 顯微鏡傾仰裝置

l 鍍金卡盤(pán)

l 射頻測(cè)試探頭/電纜

l 有源探頭

l 低電流/電容測(cè)試

l 高壓測(cè)試

l 激光修復(fù)

l CCD/數(shù)字相機(jī),USB接口

l 探針卡/封裝/PCB板夾具

l 加熱裝置

l 防震桌

l 屏蔽箱




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